機(jī)液伺服閥是將小功率的機(jī)械動(dòng)作轉(zhuǎn)變?yōu)橐簤狠敵隽?流量或壓力)的機(jī)液轉(zhuǎn)換元件。機(jī)液伺服閥大都是滑閥式結(jié)構(gòu)，在船舶的舵機(jī)、機(jī)床的仿形裝置、飛機(jī)的助力器上應(yīng)用最早。電液伺服閥是將電量轉(zhuǎn)變成液壓輸出量的電液轉(zhuǎn)換元件，出現(xiàn)于1940年。到50年代，這種元件的結(jié)構(gòu)趨于成熟。隨著電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，電液伺服系統(tǒng)的性能得到顯著改善，大大優(yōu)于其他的液壓伺服系統(tǒng)，因而得到廣泛應(yīng)用。電液伺服閥的內(nèi)部結(jié)構(gòu)可分滑閥位置反饋、載荷壓力反饋和載荷流量反饋;閥的級(jí)數(shù)可分單級(jí)、雙級(jí)和多級(jí)。在電液伺服閥中，將電信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)樾D(zhuǎn)或直線運(yùn)動(dòng)的部件稱為力矩馬達(dá)或力馬達(dá)。力矩馬達(dá)浸泡在油液中的稱為濕式，不浸泡在油液中的稱為干式。其中以滑閥位置反饋、兩級(jí)干式電液伺服閥應(yīng)用較廣。圖為電液伺服閥的工作原理。力矩馬達(dá)在線圈中通入電流后產(chǎn)生扭矩，使彈簧管上的擋板在兩噴嘴間移動(dòng)，移動(dòng)的距離和方向隨電流的大小和方向而變化。例如擋板向右移近噴嘴時(shí)，就在主閥芯兩端面上產(chǎn)生壓力差推動(dòng)主閥芯左移，使壓力油口P S與載荷1口相通,回油口與載荷 2口相通。主閥芯左移的同時(shí)通過(guò)反饋桿對(duì)力矩馬達(dá)產(chǎn)生的力矩和擋板的位移進(jìn)行負(fù)反饋。因此，主閥芯的位移量就能精確地隨著電流的大小和方向而變化，從而控制通向液壓執(zhí)行元件的流量和壓力。氣液伺服閥是將氣動(dòng)量轉(zhuǎn)變?yōu)橐簤狠敵隽康臍庖恨D(zhuǎn)換元件。
性能指標(biāo):流量(L/min)，最高壓力(MPa)。